汇专超声加工解决方案突破石英玻璃多面棱镜加工难题，表面粗糙度可达镜面级，Sa<70nm
本期我们要介绍的是石英玻璃多面棱镜的加工案例，石英玻璃多面棱镜是应用在光刻机投影物镜中的精密部件。
光刻机是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，再通过刻蚀、检测，完成芯片的制造。
以iPhone 14 Pro搭载的A16芯片为例，其制程只有4nm，要在一颗如此小的芯片上用光线刻画出精密复杂的电路图形，就需要对光线的能量、形状进行极其精准的控制。因此，光刻机中，在掩膜版和晶元之间会设置一组由几十块镜片组成的光学组件——投影物镜，来对刻蚀光进行进一步的修型，同时补偿各种光学误差，以确保印刻在晶元表面的电路图形精确无误。石英玻璃多面棱镜就是光刻机投影物镜中的精密部件之一。今天，我们就来揭秘石英玻璃多面棱镜高质量加工的解决方案，请往下看！
加工工件：石英玻璃六面体
工件尺寸：16x16x10mm
加工成品：石英玻璃多面棱镜
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加工难点
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加工方案
ULV200-5AXIS
设备参数及特点：
X/Y/Z轴加工行程250x250x250mm，A/C轴±125°/360°
X/Y/Z轴定位精度5μm，重复定位精度4μm
A/C轴旋转定位精度8角秒，重复定位精度5角秒
A/C轴配置直驱转台，传动无背隙，精度高、动态性能更佳
工作台直径200mm，最大负载可达30kg
配置汇专HSK-E32超声主轴，最高转速达36,000rpm
一体式床身铸件设计，刚性高，精度更稳定
具备五轴联动、RTCP刀尖跟随功能
标配高精密光栅尺，实现全闭环控制
标配西门子840D sl系统
适用于硬脆材料（蓝宝石、玻璃、陶瓷等）、碳纤维复合材料、金属材料及其他难加工材料的加工
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加工效果
如果您也有加工需求，欢迎来样试切：
电话：400-777-3333
官网：http://www.conprofemachine.com/